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RIE-1C是一種緊湊的反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)。該系統(tǒng)是潔凈室空間有限的實(shí)驗(yàn)室的理想解決方案，其設(shè)計(jì)可優(yōu)化刻蝕速率、均勻性和選擇性，尤其適合去除I …
RIE-10NR是一種新型的低成本、高性能、全自動(dòng)反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)，能夠滿足非腐蝕性氣體化學(xué)苛刻的工藝要求。計(jì)算機(jī)化觸摸屏為工藝配方編程和存 …
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